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题名:
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微纳加工中的精密工件台技术 wei na jia gong zhong de jing mi gong jian tai ji shu / 刘俊标,薛虹,顾文琪著 , |
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ISBN:
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7-5639-1432-3 价格： CNY45.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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278页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京工业大学出版社 出版日期： 2004 |
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内容提要:
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本书介绍了精密加工和精密测量等方面应用的精密工件台技术 |
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主题词:
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超大规模集成电路 集成电路工艺 |
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中图分类法:
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TN47 版次： 4 |
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主要责任者:
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刘俊标 liu jun biao 著 |
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主要责任者:
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薛虹 xue hong 著 |
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主要责任者:
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顾文琪 gu wen qi 著 |